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如何对LED设备国产化?

时间:2019-08-13 10:57:29  来源:  作者:


近年来自主创新的金属有机源(MO源)实现大规模应用,占国内市场的60%以上;蓝宝石衬底材料可满足国内市场需求的50%以上,目前图形化衬底已经在批量供应,产品结构的调整已见成效;自主开发的荧光粉、塑封树脂占有30%的市场份额,下面就由贤集网小编我来说说!


关白玉表示,2012年年底,国内多家企业研发成功的外延设备MOCVD开始与芯片厂家进行工艺磨合。2013年和2014年电子发展基金项目支持的MOCVD等国产设备相继进入芯片生产线试用,从目前情况来看,进展顺利。同时,多种LED生产专用设备和多种光、电、色、热性能检测仪器等已经用于LED生产线,运行稳定。


“就LED的生产过程来说,从蓝宝石材料开始,一直到PSS、外延、芯片端,再到最后的减薄等工艺,目前,国产设备已经能够很好地代替进口设备。”北方微电子装备有限公司副总裁纪安宽在接受《中国电子报》记者采访时表示,“尤其是最近几年发展比较快的外延、芯片的关键设备,也都实现了国产化。”


按工序的具体顺序来看,据纪安宽介绍,浙江晶盛生产的90公斤蓝宝石单晶炉,苏州赫瑞特、湖南宇晶、唐山晶玉、中国电子科技集团公司第四十五研究所(以下简称“45所”)等生产的多线切割机,中晟光电、中微半导体的MOCVD设备,45所的清洗设备、光刻机,北方微电子的PECVD设备、ITO薄膜溅射设备、AlN薄膜溅射设备、GaN ICP刻蚀机、PSS ICP刻蚀机,深圳矽电半导体设备有限公司的全自动点测设备,45所、大族激光、苏州德龙的激光划切机,45所的自动粘片机、自动引线键合机等等,各项技术指标均已接近或超过国外主流机型,部分型号已经成为主流企业生产线上的主力量产机型。


圆融光电科技有限公司是致力于推动LED设备国产化的外延芯片企业,该公司在不同生产环节均有多台国产设备投入使用。在说到国产设备的强势领域时,圆融光电董事长梁旭东告诉《中国电子报》记者,北方微电子ELEDE330系列干法蚀刻机在国内大约占到了60%的市场份额,苏州德龙和深圳大族激光联手抢到了划片机约80%的订单,沈阳芯源的直线型匀胶机也走进了国内大多数芯片企业的生产车间。此外,多家MOCVD企业开始推出样机,并正在从实验室走向工厂,开始正式转化为产品。


划片机、蚀刻机、匀胶机都是值得一提的应用领域。梁旭东表示,以划片机为例,2008年以前国内使用的激光划片机只有Newwave、Opto、JPSA等3家企业的产品,进口设备一统天下,完全看不到国产设备的身影。在2008年5月份以后,市场上陆续出现了德龙、大族、华工等国内设备企业。经过他们几年间不懈的努力,到2011年,紫外划片机市场已经基本成了国产设备的天下,设备单价大幅下降,设备产能也大幅提升。

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